Dotyczy czujnika ciśnienia paliwa Common Rail Passata 06E906051K

1. Sposób formowania czujnika ciśnienia obejmujący:

Zapewnienie podłoża półprzewodnikowego, w którym na podłożu półprzewodnikowym utworzona jest pierwsza międzywarstwowa warstwa dielektryczna, pierwsza międzywarstwowa warstwa dielektryczna i druga międzywarstwowa warstwa dielektryczna.

Dolna płytka elektrody w pierwszej międzywarstwowej warstwie dielektrycznej, pierwsza elektroda wzajemna umieszczona na tej samej warstwie co dolna płytka elektrodowa i oddalona od siebie.

Łączenie warstw;

Tworzenie warstwy ofiarnej nad dolną płytą polarną;

Uformowanie górnej płytki elektrodowej na pierwszej międzywarstwowej warstwie dielektrycznej, pierwszej warstwie łączącej i warstwie protektorowej;

Po uformowaniu warstwy protektorowej, a przed uformowaniem płyty górnej, w pierwszej warstwie łączącej

Uformowanie rowka łączącego i wypełnienie rowka łączącego płytą górną w celu połączenia elektrycznego z pierwszą warstwą łączącą;Lub,

Po uformowaniu górnej płyty elektrody w górnej płycie elektrody i pierwszej warstwie łączącej powstają rowki łączące, które

Utworzenie warstwy przewodzącej łączącej górną płytkę elektrody z pierwszą warstwą łączącą w rowku łączącym;

Po elektrycznym połączeniu górnej płyty i pierwszej warstwy łączącej, należy usunąć warstwę protektorową w celu utworzenia wnęki.

2. Sposób formowania czujnika ciśnienia według zastrz. 1, znamienny tym, że stosuje się pierwszą warstwę

Sposób formowania warstwy protektorowej na międzywarstwowej warstwie dielektrycznej obejmuje następujące etapy:

Nałożenie warstwy materiału protektorowego na pierwszą warstwę dielektryczną międzywarstwy;

Modelowanie warstwy materiału ofiarnego w celu utworzenia warstwy ofiarnej.

3. Sposób formowania czujnika ciśnienia według zastrzeżenia 2, w którym wykorzystuje się fotolitografię i grawerowanie.

Warstwa materiału protektorowego jest wzorowana na procesie trawienia.

4. Sposób formowania czujnika ciśnienia według zastrzeżenia 3, w którym warstwa protektorowa

Materiałem jest amorficzny węgiel lub german.

5. Sposób formowania czujnika ciśnienia według zastrz. 4, znamienny tym, że stosuje się warstwę protektorową

Materiał to węgiel amorficzny;

Gazy trawiące stosowane w procesie trawienia warstwy materiału protektorowego obejmują O2, CO, N2 i Ar;

Parametry w procesie trawienia warstwy materiału protektorowego to: zakres przepływu O2 wynosi 18 SCCM ~ 22 SCCM, a natężenie przepływu CO wynosi 10%.

Natężenie przepływu waha się od 90 SCCM do 110 SCCM, natężenie przepływu N2 waha się od 90 SCCM do 110 SCCM, a natężenie przepływu Ar.

Zakres wynosi 90 SCCM ~ 110 SCCM, zakres ciśnienia wynosi 90 mtor ~ 110 mtor, a moc polaryzacji wynosi

540 W ~ 660 W.